02.06/2021
ПОЛЕМА: производство геттеров для проекта ЦКП "СКИФ"
Изучение газопоглощающих свойств геттерных насосов по различным газам
19.09/2018
ПОЛЕМА: передовые разработки для экстремальных температур и агрессивных сред
«ПОЛЕМА» выводит на рынок новые материалы, которые показывают стабильность физико-механических характеристик при температурах, критичных для традиционных материалов.
Молибденовые распыляемые мишени
Применение:
Распыляемые мишени из высокочистого молибдена применяются в технологиях физического осаждения в вакууме (методы PVD) тонких пленок и функциональных покрытий в производстве солнечных батарей, интегральных схем, при формировании TFT-матрицы ЖК (LCD) крупноформатных дисплеев и в других областях техники.
Гарантированный химический состав изделий из молибдена для распыляемых мишеней
| Марка | Мо, %* | Примеси, мкг/г (ppm) не более | |||||||
| Fe | Al | Ni | Si | C | O | N | ∑Me** | ||
| М99,95-МП | >99,95 | 100 | 50 | 50 | 100 | 100 | 70 | 50 | <500 |
* Типичное содержание основного элемента Мо 99,97%
** Сумма металлических примесей
Форма изделий
Пластины, диски, кольца, механически обработанные в соответствии с чертежом на изделие.
Размеры пластин
- Толщина от 5 до 32 мм;
- ширина до 550 мм;
- длина до 1500 мм.
Мишени могут быть изготовлены в виде комплекта из сопрягаемых по торцам частей любой ширины и длины комплекта в целом.
Допуски на размеры и шероховатость устанавливаются по согласованным пожеланиям заказчика.
