04.05/2012
Полема повышает эффективность производства
ОАО «ПОЛЕМА» сообщает о том, что в июне 2012 года будет проведен ряд плановых ремонтов, направленных на повышение эффективности производства предприятия.
08.02/2012
В ОАО «ПОЛЕМА» состоялась презентация проекта новой электрической вакуумной высокотемпературной печи
В ОАО «ПОЛЕМА», входящем в Группу КОКС, состоялась презентация проекта новой электрической вакуумной высокотемпературной печи.
03.06/2011
Перспективные материалы для многофункциональных вакуумных покрытий
Приведены области применения материалов для многофункциональных вакуумных покрытий, характеристики распыляемых мишеней и испаряемых источников, используемых в технологиях физического осаждения упрочняющих, защитных, декоративных и светоотражающих покрытий, резистивных, коммутационных и прозрачных электропроводящих пленок.
24.05/2011
Изделия из молибдена и вольфрама для производства монокристаллов лейкосапфира
ОАО «ПОЛЕМА» - ведущий мировой производитель изделий из хрома, молибдена, вольфрама, металлических порошков и композиционных материалов.
Оксид цинка распыляемые мишени
Мишень из оксидной керамикиИзделия из оксидной керамики на основе оксида цинка, легированного галлием (GZO) и алюминием (АZO) – это новое поколение высокоэффективных распыляемых мишеней, разработанных по уникальной технологии ПОЛЕМА для создания прозрачных электропроводящих пленок в производстве солнечных батарей, низко-эмиссионных покрытий на стеклах, TFT ЖК-панелей (LCD) и OLED дисплеев. Усовершенствованные распыляемые мишени позволяют получать тонкие, сверхстабильные пленки, не содержащие на поверхности узелковых утолщений, с однородной структурой и отличными электрическими характеристиками, устойчивыми в различной атмосфере.
Изделия из оксидной керамики
Трубы из оксидной керамикиОсновные преимущества распыляемых мишеней:
- отсутствие островковых утолщений на поверхности распыляемой мишени, характерных, например, для ITO (In2O3-SnO2) материала;
- однородная структура пленки (отсутствие столбчатой структуры) при температуре подложки 2000С;
- отличная электрическая проводимость пленки, сравнимая с ITO;
- прозрачность пленки в видимой части спектра ( 450-650нм) более 90%;
- сопротивление влиянию тепла и влажности атмосферы на прозрачность и проводимость пленки.
| Марки GZO изделий | Химический состав, масс.% |
Плотность, г/см3, не менее |
|
| ZnO+Ga2O3 | Gа2O3 | ||
| ТСО–G3 | > 99,9 | 3,1-3,7 | 5,55 |
| ТСО–G1 | > 99,9 | 0,9-1,3 | 5,57 |
| ТСО–G0,5 | > 99,9 | 0,5-0,8 | 5,57 |
Содержание примесей Fe, Cu, Al, Si, Ni, Pb, а также Na, Mg, Ca, контролируемых дополнительно по желанию потребителя и определяемых методом ICP-MS, не превышает 0,01%.
| Марки АZO изделий | Химический состав, масс.% | |||
| ZnO+Al2O3 | ZnO+Al2O3 +СаО | Al2O3 | СаО | |
| ТСО-А2 | > 99,9 | - | 2,0±0,3 | - |
| ТСО-А1 | > 99,9 | - | 1,0±0,2 | - |
| ТСО-А0,5 | > 99,9 | - | 0,50±0,15 | - |
| ТСО-А0,2 | > 99,9 | - | 0,2±0,15 | - |
| ТСО-А2С | - | > 99,9 | 2,0±0,3 | 0,2±0,1 |
| ТСО-А1С | - | > 99,9 | 1,0±0,2 | 0,2±0,1 |
| ТСО-А0,5С | - | > 99,9 | 0,50±0,05 | 0,2±0,1 |
| ТСО-А0,2С | - | > 99,9 | 0,2±0,15 | 0,2±0,1 |
Форма и размеры керамики GZO и АZO
Изделия поставляются в виде механически обработанных пластин, дисков и труб, размерами, установленными заказами в пределах следующих габаритов:
| Форма | Размеры, мм | |||
| Длина | Ширина |
Толщина (высота) |
Диаметр наружный |
|
| Пластина | До 450 | До 250 | До 12 | - |
| Диск | - | - | До 12 | До 250 |
| Труба (полый цилиндр) | - | - | От 100 до 270 | До 165 |
|
Температура осаждения |
Электросопротивление, Ом·см, при толщине слоя, нм | |
| 75 | 150 | |
| Тк | 2,02х10-3 | 6,75х10-4 |
| Т200 | 4,87х10-4 | 3,0х10-4 |
| Марки АZO изделий |
γ, г/см3, не менее |
ρs, Ом·см, не более |
dср, мкм, не более |
| ТСО-А2 | 5,40 | 5х10-4 | 20 |
| ТСО-А1 | 5,40 | 5х10-4 | 20 |
| ТСО-А0,5 | 5,40 | 5х10-4 | 20 |
| ТСО-А0,2 | 5,40 | 5х10-4 | 40 |
| ТСО-А2С | 5,45 | 2х10-3 | 20 |
| ТСО-А1С | 5,45 | 2х10-3 | 20 |
| ТСО-А0,5С | 5,45 | 2х10-3 | 20 |
| ТСО-А0,2С | 5,45 | 2х10-3 | 40 |
| Марки АZO изделий | γ, г/см3 | ρs, Ом•см | d ср, мкм |
| ТСО-А2 | 5,42 | 2,1х10-4 | 8-12 |
| ТСО-А1 | 5,50 | 2,8х10-4 | 7-10 |
| ТСО-А0,5 | 5,52 | 3,2х10-4 | 7-10 |
| ТСО-А0,2 | 5,52 | 3,9х10-4 | 20-30 |
| ТСО-А2С | 5,48 | 2,0х10-3 | 5-10 |
Значения электрического сопротивления керамики из чистого ZnO, GZO и АZO (справочные данные)
.jpg)
Оптические свойства пленок
.jpg)
Оптическая прозрачность слоев GZO (ТСО-G3), осажденных при различных температурах Tsub
Средний коэффициент прозрачности слоев GZO в видимой части спектра Тr ≥ 90 %.
Устойчивость пленок
Осажденные из GZO керамики пленки отличаются высокой устойчивостью оптических и электрических свойств. Прозрачность и электропроводность не ухудшаются при нагреве во влажной атмосфере
Электронный снимок поперечного сечения осажденной пленки GZO (ТСО-G3) до и после испытания во влажной (100%) атмосфере в течение 100 час при 90 0С.
| Режим термической обработки |
Удельное электросопротивление, Ом·см при различных температурах, 0С |
|
| Т комнатная | Т=250 | |
| После осаждения | 7,29·10-4 | 3,78·10-4 |
| Вакуумный отжиг при 250 0С, 1 ч | 6,21·10-4 | 3,78·10-4 |
| Отжиг на воздухе при 250 0С, 1 ч | 1,27·10-3 | 3,78·10-4 |
| Отжиг на воздухе при 350 0С, 1 ч | 6,75·10-3 | 4,15·10-4 |
ITO и GZO мишени после распыления
На электронных снимках представлена морфология поверхности ITO, слева, и GZO (ТСО-G3 ), справа, мишеней после распыления. Островковые наросты на поверхности GZO распыляемых мишеней не обнаруживаются, что характеризует улучшенную однородность структуры материала.
