От достигнутых целей к новым горизонтам

Публикации

20.12/2016

Совершенствование технологии производства порошков для защитных покрытий и ремонта литейных форм.

Боголюбов Н.В ОАО «ПОЛЕМА». «Совершенствование технологии производства порошков для защитных покрытий и ремонта литейных форм. Производство молибденовых электродов для стекловаренных печей». (Доклад на Международном форуме «СТЕКЛО и СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ- XXI» 19.11.2014, г. Москва)

Подробнее

03.06/2011

Перспективные материалы для многофункциональных вакуумных покрытий

Приведены области применения материалов для многофункциональных вакуумных покрытий, характеристики распыляемых мишеней и испаряемых источников, используемых в технологиях физического осаждения упрочняющих, защитных, декоративных и светоотражающих покрытий, резистивных, коммутационных и прозрачных электропроводящих пленок.

Подробнее

Документы

» Главная » Продукция » Хром » Распыляемые мишени и испаряемые катоды из хрома

Распыляемые мишени и испаряемые катоды из хрома

Изделие ЭРХ-МП

АО "Полема" является лидирующим мировым производителем распыляемых мишеней и испаряемых источников (катодов) из электролитического рафинированного хрома. Доля компании в данном секторе  мирового рынка достигла приблизительно 30%.

Применение

Изделия из хрома применяются в различных  технологиях физического осаждения тонких пленок и функциональных покрытий (методы PVD) при производстве электронных компонентов, дисплеев, инструмента, хромирования в вакууме корпусов часов, деталей бытовой техники, рабочих поверхностей гидро-пневмоцилиндров, золотников, штоков, тонированных стекол, зеркал, деталей и аксессуаров автомобилей, других машин и приборов. При осаждении из ионизированной плазмы упрочняющих покрытий на инструмент методом вакуумно-дугового испарения катода или магнетронным распылением мишеней хром используется в качестве адгезионного подслоя и, в композиции с другими материалами, для создания многослойных и наноструктурированных многофункциональных износостойких покрытий. Крупноформатные планарные мишени из ЭРХ, обладающие высочайшим качеством, используются ведущими производителями плазменных и ЖК дисплеев для осаждения металлических проводников в процессе формирования в матрицах мониторов тонкопленочных транзисторов (TFT технология).

Распыляемые мишени из хрома

Производство

Схема производства:
Хром ЭРХ чешуйки → порошок → компактная заготовка → изделие ЭРХ-МП

Порошок проходит специальную обработку, обеспечивающую чистоту материала на уровне исходного хрома ЭРХ.

Компактирование производятся следующими способами:

  • горячим изостатическим прессованием (HIP);
  • горячим прессованием - экструзией (HP);
  • при необходимости  применяется прокатка спеченных полуфабрикатов (R).

Финишная механическая обработка  производится в соответствии с  согласованными пожеланиями заказчиков.

Изделия из хрома
Изделия из хрома ЭРХ
Катоды из хрома
Марки и гарантированный химический состав изделий из хрома ЭРХ
Марки Cr, %,
не менее
Примеси, мкг/г  (ppm), не более
O N C S Fe Si Ni Al Cu
ЭРХ 99,9-МП 99,9 350 100 200 30 500 100 100 70 40
ЭРХ 99,95-МП 99,95 200 50 100 20 250 50 40 30 30
ЭРХ 99,97-МП 99,97 100 50 70 20 100 20 10 20 20
∑ металлических примесей Al, Fe, Cu, Ni, Si, Ca, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Pb, Ti, W, Zn и других 300 мкг/г  (ppm), не более
ЭРХ 99,99-МП 99,99 100 50 70 20 50 10 5 5 10
∑ металлических примесей Al, Fe, Cu, Ni, Si, Ca, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Pb, Ti, W, Zn и других 100 мкг/г  (ppm), не более

Форма и размеры изделий из хрома
Форма изделия 
после обработки
Диаметр, мм Толщина,  мм Ширина, мм Длина, мм
Пластина - От 5 до 50 До 1400 До 1700
Диск, кольцо От 65 до 400 От 5 до 50 - -
Пруток, цилиндр От 15 до 65 - - До 600

Применяются следующие  допуски на размеры, если заказчиком не определены иные, мм: на диаметр ± 0,25;  на толщину ± 0,2; на ширину и длину до 100 ± 0,15; от 100 до 500 ± 0,25; от 500 до 1000 ± 0,4; более 1000 ± 1,0.