02.06/2021
ПОЛЕМА: производство геттеров для проекта ЦКП "СКИФ"
Изучение газопоглощающих свойств геттерных насосов по различным газам
19.09/2018
ПОЛЕМА: передовые разработки для экстремальных температур и агрессивных сред
«ПОЛЕМА» выводит на рынок новые материалы, которые показывают стабильность физико-механических характеристик при температурах, критичных для традиционных материалов.
Распыляемые мишени и испаряемые катоды из хрома
АО "Полема" является лидирующим мировым производителем распыляемых мишеней и испаряемых источников (катодов) из электролитического рафинированного хрома. Доля компании в данном секторе мирового рынка достигла приблизительно 30%.
Применение
Изделия из хрома применяются в различных технологиях физического осаждения тонких пленок и функциональных покрытий (методы PVD) при производстве электронных компонентов, дисплеев, инструмента, хромирования в вакууме корпусов часов, деталей бытовой техники, рабочих поверхностей гидро-пневмоцилиндров, золотников, штоков, тонированных стекол, зеркал, деталей и аксессуаров автомобилей, других машин и приборов. При осаждении из ионизированной плазмы упрочняющих покрытий на инструмент методом вакуумно-дугового испарения катода или магнетронным распылением мишеней хром используется в качестве адгезионного подслоя и, в композиции с другими материалами, для создания многослойных и наноструктурированных многофункциональных износостойких покрытий. Крупноформатные планарные мишени из ЭРХ, обладающие высочайшим качеством, используются ведущими производителями плазменных и ЖК дисплеев для осаждения металлических проводников в процессе формирования в матрицах мониторов тонкопленочных транзисторов (TFT технология).
Производство
Схема производства:
Хром ЭРХ чешуйки → порошок → компактная заготовка → изделие ЭРХ-МП
Порошок проходит специальную обработку, обеспечивающую чистоту материала на уровне исходного хрома ЭРХ.
Компактирование производятся следующими способами:
- горячим изостатическим прессованием (HIP);
- горячим прессованием - экструзией (HP);
- при необходимости применяется прокатка спеченных полуфабрикатов (R).
Финишная механическая обработка производится в соответствии с согласованными пожеланиями заказчиков.
| Марки |
Cr, %, не менее |
Примеси, мкг/г (ppm), не более | ||||||||
| O | N | C | S | Fe | Si | Ni | Al | Cu | ||
| ЭРХ 99,9-МП | 99,9 | 350 | 100 | 200 | 30 | 500 | 100 | 100 | 70 | 40 |
| ЭРХ 99,95-МП | 99,95 | 200 | 50 | 100 | 20 | 250 | 50 | 40 | 30 | 30 |
| ЭРХ 99,97-МП | 99,97 | 100 | 50 | 70 | 20 | 100 | 20 | 10 | 20 | 20 |
| ∑ металлических примесей Al, Fe, Cu, Ni, Si, Ca, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Pb, Ti, W, Zn и других 300 мкг/г (ppm), не более | ||||||||||
| ЭРХ 99,99-МП | 99,99 | 100 | 50 | 70 | 20 | 50 | 10 | 5 | 5 | 10 |
| ∑ металлических примесей Al, Fe, Cu, Ni, Si, Ca, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Pb, Ti, W, Zn и других 100 мкг/г (ppm), не более | ||||||||||
|
Форма изделия после обработки |
Диаметр, мм | Толщина, мм | Ширина, мм | Длина, мм |
| Пластина | - | От 5 до 50 | До 1400 | До 1700 |
| Диск, кольцо | От 65 до 400 | От 5 до 50 | - | - |
| Цилиндр | От 15 до 65 | - | - | До 600 |
Применяются следующие допуски на размеры, если заказчиком не определены иные, мм: на диаметр ± 0,25; на толщину ± 0,2; на ширину и длину до 100 ± 0,15; от 100 до 500 ± 0,25; от 500 до 1000 ± 0,4; более 1000 ± 1,0.
