02.06/2021
ПОЛЕМА: производство геттеров для проекта ЦКП "СКИФ"
Изучение газопоглощающих свойств геттерных насосов по различным газам
19.09/2018
ПОЛЕМА: передовые разработки для экстремальных температур и агрессивных сред
«ПОЛЕМА» выводит на рынок новые материалы, которые показывают стабильность физико-механических характеристик при температурах, критичных для традиционных материалов.
Распыляемые мишени и испаряемые катоды из никеля и нихрома
Область применения
Вакуумное осаждение тонких пленок при производстве электронных компонентов, коррозионностойких и декоративных покрытий, в производстве низкоэмиссионных энергосберегающих стекол в качестве защитных слоев.
Форма поставки
- Изделия простой формы прямоугольного или круглого сечения в виде листов, пластин, прутков, дисков.
- Изделия (катоды) сложной формы по согласованному чертежу Заказчика.
Форма, размеры, допускаемые отклонения по размерам изделий, чистота механической обработки устанавливаются соглашением сторон.
Распыляемые мишени (электроды) из никеля Н1-МП
Изделия выпускают марки Н1-МП.
По желанию Заказчика изделия могут быть изготовлены марок НП1, НП2 по ГОСТ 492-2006.
Гарантированная чистота материала – не менее 99,90% Ni при минимальном содержании вредных примесей.
Химический состав изделий обеспечивается не ниже требований к никелевому порошку группы У по ГОСТ 9722-97.
| Марка | Ni | C | Fe | Co | Si | Cu | Mg | As | S | Zn | P | Cd | Bi | Mn | Sn | Pb | Sb | Ca |
| мкг/г (ppm), не более | ||||||||||||||||||
| Н1-МП |
99,90% min |
0,09% max |
15 | 10 | 10 | 3 | 3 | 5 | 7 | 3 | 3 | 1 | 1 | 3 | 1 | 1 | 2 | 50 |
Изделия изготавливают методами порошковой металлургии. Плотность деформированных (горячекатаных, кованых) изделий - не менее 99% от теоретической. В структуре материала распыляемых мишеней и испаряемых катодов из никеля отсутствуют внутренне связанные поры и открытая пористость.
Распыляемые мишени из нихрома
| Марка |
Ni+Cr, %, не менее |
Cr, % | Примеси, мкг/г (ppm), не более | |||||||||
| Fe | Al | Si | Cu | Ca | Mn | S | C | O | N | |||
| Х20Н80 99,9-МП | 99,90 | 20±1,5 | 500 | 100 | 100 | 50 | 50 | 200 | 100 | 200 | 500 | 100 |
Сумма металлических примесей:
Х20Н80 99,9-МП – не более 1000 мкг/г
Преимущества
- достаточно высокая химическая чистота;
- высокая плотность и однородная микроструктура материала изделий, обеспечивающая стабильность процесса распыления мишеней или дугового испарения катодов.
